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晶體生長爐的觸摸屏控製係統介紹

點擊次數:1235 發布時間:2018/8/23 9:40:55

晶體生長爐是晶體生長的基礎,根據三硼酸鋰(LBO)、偏硼酸鋇(β-BBO)等晶體生長的要求,來控製爐溫要有高穩定性的溫度/過程控製儀。要具有多種信號(如熱電偶)自由輸入,量程自由設定;軟件調零調滿度,冷端單獨測溫,顯示精度高;時間過程加PID控製方式,控製速度平穩,先進的無超調自整定方式;多種信號輸出(如模擬量、開關量)等功能。

    晶體生長爐觸摸屏控製:

    晶體生長爐具有大量控製設備來確保晶體生長苛刻的環境要求,這樣控製設備大體上可以分為加溫設備、真空設備和運動設備。

1、主監控畫麵:動態監控圖,爐門的開閉狀態、坩堝杆的運動狀態、真空機的啟停狀態、燃燒狀態等可以在該畫麵上實時顯示。通過畫麵右上角的燃燒狀態百分比顯示模擬實際輸出量。

    加熱設備:智能控製儀表、加溫設備包括中頻加熱爐、中頻電源、電流/電壓傳感器、可控矽和PID智能調節溫控儀表等,溫控儀表采集電流傳感器的模擬量信號(此值與爐內溫度成線性關係),根據電流值和設定值進行PID調節,輸出給可控矽來調節中頻電源的電壓,進而保證爐內溫度的穩定;通過模擬量輸出控製可控矽,完成晶體生長爐的溫度控製。

2、真空設備:包括變頻器、真空計、真空泵,真空控製器和密封設備等,真空計采集爐腔內的真空度,真空控製器根據真空度變化調節變頻器頻率,進而改變真空泵的運行頻率,以保證爐腔內的真空度穩定;

3、運動設備:包括步進電機、PLC、絲杠、導軌、編碼器、限位開關等,閉環調節籽晶杆和坩堝杆的運動,調節坩堝自轉; 

4、觸摸屏操作設備:在觸摸屏上可工藝過程描述,在觸摸屏上COM1口連接溫度控製儀表、COM2口可連接PLC,采用RS485的方式連接;在觸摸屏上控製坩堝自轉步進電機、坩堝杆平移快/慢檔速度可分別設定,在觸摸屏的流程圖畫麵上顯示當前溫度、當前位置、當前狀態、通過觸摸按鈕切換,點擊啟動按鈕電機運行、坩堝上下平移、爐門開關。

   在實現規模化生產,可實行集中監控。把現在單機係統連接,采用RS485通訊連接通過網絡將數據傳到監控中心,監控中心選用組態軟件實現工藝工程監控、報警顯示、曆史數據的存儲與檢索等功能。實現數據的上傳與集中顯示。

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