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淺述小型甩帶機的開關機操作

點擊次數:1315 發布時間:2018/8/23 9:47:03

  一、小型甩帶機的開機
  1.開總電源:將對麵牆壁上左邊的電源閘刀向上撥至“on”;
  2.開冷卻水:將設備後水管總開關扭至與水管平行,並將兩個水閥逆時針旋轉45°;
  3.開機械泵:按下機械泵開機電源按鈕,等待2分鍾,待係統內空氣抽淨;
  4.開擴散泵:按下擴散泵開機電源按鈕,等待50分鍾,待擴散泵預熱完全;
  5.開銅輥電機:按下電機“調速”電源按鈕,並按變頻器上的“run”一次,運行變頻器;
  注意:預熱時務必確保機械泵和擴散泵閥門處於關閉狀態。
  6.小型甩帶機開腔門:將腔體右側的氬氣充氣閥順時針旋轉90°,給腔體充氬氣使氣壓表指針指向“0”並關上閥門,然後利用專用扳手鬆開螺絲並將腔門打開。
  二、小型甩帶機的關機
  1.清理內腔:
  ①順時針旋轉變頻器上的變頻旋鈕至銅輥轉速為5m/s;
  ②用沾有丙酮的紙巾擦拭銅輥外徑表麵;
  ③用金相砂紙輕輕擦拭外沿;
  ④重複第②步;
  ⑤逆時針旋轉變頻器上的變頻旋鈕至銅輥轉速為“0”;
  ⑥用沾有丙酮的紙巾擦拭腔體其他地方。
  2.關腔門:關上腔門,並用扳手緊固螺絲;
  3.按變頻器“stop”使變頻器關;
  4.按起“調速”電源按鈕;
  5.按起擴散泵電源按鈕;
  6.拉出機械泵拉杆抽低真空至氣壓表指示為“-0.1”後在推入拉杆;
  7.等待一小時後關閉機械泵電源按鈕;
  8.關閉冷卻水閥;
  9.將總電源閘刀拉下至“off”。

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